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GB/T17874-1999 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼

标准编号:GB/T17874-1999 整理时间:1999-09-01 浏览次数:20
资料名称: GB/T17874-1999 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1999-09-01◎
实施日期: 2000-06-01◎
首发日期: 1999-09-16◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期:
标准编号: GB/T 17874-1999
标准名称: 电子工业用气体 三氯化硼
英文名称: Gases for electronic industry--Boron trichloride(仅供参考)
标准简介: GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 国家标准(GB) GB/T17874-1999 本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼,主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: (仅供参考)
发布部门: 国家质量技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 光明化工研究设计院(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:8, 字数:11千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
下载次数: 1次
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