| 标准简介： |
GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 国家标准(GB) GB/T18867-2002 本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。 压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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载入中 |
| 替代情况： |
（仅供参考） |
| 采标情况： |
NEQ SEMI C3.24:1995（仅供参考） |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局（仅供参考） |
| 提出单位： |
原国家石油和化学工业局（仅供参考） |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会（仅供参考） |
| 起草单位： |
中核红华特种气体股份有限公司（仅供参考） |
| 起 草 人： |
杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善（仅供参考） |
| 出 版 社： |
中国标准出版社（仅供参考） |
| 页 数： |
平装16开， 页数：9， 字数：16千字（仅供参考） |
| 书 号： |
155066.1-19213（仅供参考） |
| 下载次数： |
7次 |
| 下载地址： |
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