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GB/T4059-2007 GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

标准编号:GB/T4059-2007 整理时间:2007-12-18 浏览次数:47
资料名称: GB/T4059-2007 GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 2007-12-18◎
实施日期: 2008-02-01◎
首发日期: 1983-12-20◎
复审日期:
出版日期:
标准编号: GB/T 4059-2007
标准名称: 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称: Polycrystalline silicon—Examination method—Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere(仅供参考)
标准简介: GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 国家标准(GB) GB/T4059-2007 本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: 替代GB/T 4059-1983(仅供参考)
采标情况: MOD ASTM F 1723-1996(仅供参考)
发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(仅供参考)
主管部门: 中国有色金属工业协会(仅供参考)
起草单位: 蛾眉半导体材料厂(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

(仅供参考)

页  数: 8页(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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