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GB/T13387-1992 GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法

标准编号:GB/T13387-1992 整理时间:1992-02-19 浏览次数:10
资料名称: GB/T13387-1992 GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1992-02-19◎
实施日期: 1992-10-01◎
首发日期: 1992-02-19◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期:
标准编号: GB/T 13387-1992
标准名称: 电子材料晶片参考面长度测量方法
英文名称: Test method for measuring flat length on slices of electronic materials(仅供参考)
标准简介: GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法 国家标准(GB) GB/T13387-1992 本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: =ASTM F671(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 北京有色金属研究总院(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:7, 字数:9000(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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