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GB/T14144-1993 GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

标准编号:GB/T14144-1993 整理时间:1993-02-06 浏览次数:5
资料名称: GB/T14144-1993 GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1993-02-06◎
实施日期: 1993-10-01◎
首发日期: 1993-02-06◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期:
标准编号: GB/T 14144-1993
标准名称: 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称: Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon(仅供参考)
标准简介: GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 国家标准(GB) GB/T14144-1993 本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。本标准适用于室温电阻率大于0?1Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: =ASTM F951-85(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 中科院上海冶金研究所(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:7, 字数:10千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
下载次数: 1次
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