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GB/T14146-1993 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法

标准编号:GB/T14146-1993 整理时间:1993-02-06 浏览次数:9
资料名称: GB/T14146-1993 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1993-02-06◎
实施日期: 1993-10-01◎
首发日期: 1993-02-06◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期:
标准编号: GB/T 14146-1993
标准名称: 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法
英文名称: Silicon epitaxial layers-Determination of carrier concentration-Mercury probe valtage-capacitance method(仅供参考)
标准简介: GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法 国家标准(GB) GB/T14146-1993 本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: DIN 50439-1982,REF(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 上海市有色金属总公司(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:6, 字数:8千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
下载次数: 2次
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