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GB/T16596-1996 GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范

标准编号:GB/T16596-1996 整理时间:1996-01-01 浏览次数:17
资料名称: GB/T16596-1996 GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1996-01-01◎
实施日期: 1997-04-01◎
首发日期: 1996-11-04◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期: 1997-04-01◎
标准编号: GB/T 16596-1996
标准名称: 确定晶片坐标系规范
英文名称: Specification for establishing a wafer coordinate system(仅供参考)
标准简介: GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 国家标准(GB) GB/T16596-1996 本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点,可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: SEMI M20-92(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 中国有色金属工业总公司(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:6, 字数:6千字(仅供参考)
书  号: 155066.1-13651(仅供参考)
下载次数: 0次
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