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GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片

标准编号:GB/T14139-1993 整理时间:1993-02-06 浏览次数:18
资料名称: GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1993-02-06◎
实施日期: 1993-10-01◎
首发日期: 1993-02-06◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期:
标准编号: GB/T 14139-1993
标准名称: 硅外延片
英文名称: Silicon epitaxial wafers(仅供参考)
标准简介: GB/T 14139-1993 硅外延片 国家标准(GB) GB/T14139-1993 本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: SEMI S2,REF(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 上海第二冶炼厂(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:8, 字数:11千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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