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JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准

标准编号:JB/T5631-1991 整理时间:1991-08-27 浏览次数:7
资料名称: JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1991-08-27◎
实施日期: 1992-07-01◎
首发日期:
复审日期:
出版日期: 1992-07-01◎
标准编号: JB/T 5631-1991
标准名称: 半导体器件外延炉 能耗标准
英文名称: (仅供参考)
标准简介: JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 机械行业标准(JB) JB/T5631-1991 JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 机械行业标准(JB) JB/T5631-1991 本标准规定了半导体器件外延炉(以下简称外延炉)能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: (仅供参考)
发布部门: 机械电子工业部(仅供参考)
提出单位: 机械电子工业部生产司(仅供参考)
归口单位: 机械电子工业部机械标准化研究所(仅供参考)
主管部门: (仅供参考)
起草单位: 国营北京七七四厂(仅供参考)
起 草 人: 赵伟、郭瑞春(仅供参考)
出 版 社:

机械工业出版社(仅供参考)

页  数: 4页(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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