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JB/T2965-1992 JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法

标准编号:JB/T2965-1992 整理时间:1992-01-01 浏览次数:9
资料名称: JB/T2965-1992 JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法
标准类别:
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授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1992-01-01◎
实施日期: 1992-01-01◎
首发日期:
复审日期:
出版日期:
标准编号: JB/T 2965-1992
标准名称: 溅射离子泵 性能测试方法
英文名称: (仅供参考)
标准简介: JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法 机械行业标准(JB) JB/T2965-1992 本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: JB 2965-81(仅供参考)
采标情况: (仅供参考)
发布部门: 沈阳真空技术研究所(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 沈阳真空技术研究所(仅供参考)
主管部门: (仅供参考)
起草单位: (仅供参考)
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