| 资料名称： | GB/T17865-1999 GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1999-09-01◎ | ||
| 实施日期： | 2000-06-01◎ | ||
| 首发日期： | 1999-09-13◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 2004-08-22◎ |
| 标准编号： | GB/T 17865-1999 | |
| 标准名称： | 焦深与最佳聚焦的测量规范 | |
| 英文名称： | Specification for measuring depth of focus and best focus（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范 国家标准(GB) GB/T17865-1999 本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样，因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | idt SEMI P25:1994（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | 中国科学院（仅供参考） | |
| 归口单位： | SEMI中国标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 中国科学院微电子中心（仅供参考） | |
| 起 草 人： | 陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明（仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 7页（仅供参考） | |
| 书 号： | 155066.1-16385（仅供参考） | |
| 下载次数： | 0次 | |
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