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SJ/T11275-2002 SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

标准编号:SJ/T11275-2002 整理时间:2002-10-30 浏览次数:4
资料名称: SJ/T11275-2002 SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 2002-10-30◎
实施日期: 2003-03-01◎
首发日期:
复审日期:
出版日期: 2004-04-18◎
标准编号: SJ/T 11275-2002
标准名称: 卧式液相外延系统通用规范
英文名称: Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system(仅供参考)
标准简介: SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范 电子行业标准(SJ) SJ/T11275-2002 本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: (仅供参考)
发布部门: (仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: (仅供参考)
主管部门: (仅供参考)
起草单位: 中国电子科技集团公司第四十八所(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

工业电子出版社(仅供参考)

页  数: 12页(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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