| 资料名称： | GB/T16878-1997 GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1997-06-20◎ | ||
| 实施日期： | 1998-03-01◎ | ||
| 首发日期： | 1997-06-20◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 2004-04-11◎ |
| 标准编号： | GB/T 16878-1997 | |
| 标准名称： | 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | |
| 英文名称： | Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 国家标准(GB) GB/T16878-1997 本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI P19-1992,IDT（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 中国科学院缩微电子中心（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：14， 字数：24千字（仅供参考） | |
| 书 号： | 155066.1-14349（仅供参考） | |
| 下载次数： | 0次 | |
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