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SJ/T10583-1994 SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件

标准编号:SJ/T10583-1994 整理时间:1994-08-08 浏览次数:20
资料名称: SJ/T10583-1994 SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1994-08-08◎
实施日期: 1994-12-01◎
首发日期:
复审日期:
出版日期: 1994-12-01◎
标准编号: SJ/T 10583-1994
标准名称: 气体质量流量控制器通用技术条件
英文名称: General specification for gas mass flow controller(仅供参考)
标准简介: SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件 电子行业标准(SJ) SJ/T10583-1994 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼,以及化工、冶金、卫生等部门。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: (仅供参考)
发布部门: 中华人民共和国电子工业部(仅供参考)
提出单位: 中华人民共和国电子工业部(仅供参考)
归口单位: 电子工业部标准化研究所(仅供参考)
主管部门: (仅供参考)
起草单位: 北京建中机器厂(仅供参考)
起 草 人: 龚光祥、刘学俭、钱祖权(仅供参考)
出 版 社:

(仅供参考)

页  数: 16页(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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