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GB/T15909-1995 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

标准编号:GB/T15909-1995 整理时间:1995-01-02 浏览次数:17
资料名称: GB/T15909-1995 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1995-01-02◎
实施日期: 1996-08-01◎
首发日期: 1995-12-20◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期:
标准编号: GB/T 15909-1995
标准名称: 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称: Gas for electronic industry-Silane(仅供参考)



标准简介: GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 国家标准(GB) GB/T15909-1995 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: =SEMI-93(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 化工部西南化工研究院(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:9, 字数:13千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
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