| 标准简介： |
GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 国家标准(GB) GB/T18994-2003 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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载入中 |
| 替代情况： |
（仅供参考） |
| 采标情况： |
SEMI C3.32-1995,NEQ（仅供参考） |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局（仅供参考） |
| 提出单位： |
原化学工业部（仅供参考） |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会（仅供参考） |
| 起草单位： |
光明化工研究设计院（仅供参考） |
| 起 草 人： |
孔祥芝、佘中玉（仅供参考） |
| 出 版 社： |
中国标准出版社（仅供参考） |
| 页 数： |
平装16开， 页数：7， 字数：13千字（仅供参考） |
| 书 号： |
155066.1-19715（仅供参考） |
| 下载次数： |
3次 |
| 下载地址： |
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